滁州雙頻激光干涉儀-合肥邁思瑞儀器儀表
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合肥邁思瑞儀器儀表有限公司

經營模式:生產加工

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主營:激光干涉儀,輪廓儀,3D輪廓測量儀,紅外熱像儀

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激光干涉法

  利用激光的干涉特性,以激光的波長等參數為基礎,對元件的振動進行測量的方法叫激光干涉測振法。在振動沖擊計量測試中,我們經常碰到量值溯源的問題,在量值溯源與傳遞系統鏈表里,振動沖擊計量基準可以溯源到基本量———長度和時間。振動和沖擊校準設備采用這種量值復現方式進行傳感器的校準時,稱其為“絕1對校準”。激光干涉儀是不可缺少的部分,其輸出的多1普勒信號把已知的激光波長和振動的位移量對應起來,是一種絕1對的測量方法。目前在振動和沖擊專業中大量借助于激光干涉技術實現量值的復現,其具體實現就是采用激光干涉儀。



激光干涉儀具有快速、高準確測量的優點,雙頻激光干涉儀,是校準數字機床、坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標最常用的標準儀器,掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。

Z軸激光光路快速準直方法

用激光干涉儀進行線性測量時,Z軸測量時激光光路的準直相對X、Y軸準直來說,要困難的多。尤其是在Z軸距離較長的情況下,要保證激光光束經反射鏡反射后回到激先探測器的強度滿足測量對對光強的要求,準直激光光路往往需要很長時間。







激光干涉儀影響因素


余弦誤差的影響

激光光束同運動坐標軸的調準誤差會導致測量的距離和實際運動距離之間的誤差,該誤差與(1-cosθ)成正比,θ為激光光束同運動坐標軸線之間的誤差夾角。

  當激光測量系統的光路調整得與運動坐標軸不同軸時,該余弦誤差會導致測量距離比實際運動距離短,用激光測量系統測量的實際距離為Ls,而實際運動距離為Lm。如θ角為0.167°,則引起的余弦誤差為5μm/m。













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